单项选择题
通过在Ar气体中导入（）等气体进行溅射，可以形成化合物薄膜。
A.氮，氧B.氩，氦C.氦，氯D.氩，氯
单项选择题 下列哪项是离子注入设备产品的领域？（）
单项选择题 Cat-CVD的气体是通过什么反应成膜的？（）
单项选择题 皮拉尼真空计指示值采用什么气体进行校正？（）
