填空题
CZ直拉法的目的是()。
实现均匀掺杂的同时并且复制仔晶的结构,得到合适的硅锭直径并且限制杂质引入到硅中
填空题 CZ直拉法生长单晶硅是把()变为()并且()的固体硅锭。
填空题 从半导体制造来讲,晶圆中用的最广的晶体平面的密勒符号是()、()和()。
填空题 晶圆制备的九个工艺步骤分别是()、整型、()、磨片倒角、刻蚀、()、清洗、检查和包装。