多项选择题
CVD的特点是（）
A.薄膜成分可控B.速度优于PVDC.黏附性好D.纯度高
单项选择题 选择外延的简称是（）
单项选择题 SOI的意思是（）
单项选择题 （）是使硅片上的局部区域达到平坦化。
