判断题 特征X射线的波长决定于原子的核外电子能级结构。每种元素都有自己特定的特征X射线谱。

判断题 荧光射线的能量较低（小于50eV），产生范围小（仅在试样表面10nm层内产生）；产率与试样的表面形状密切相关，对试样的表面状态非常敏感，能很好地反映试样的表面形貌。

判断题 背散射电子是入射电子在试样内经过一次或几次大角度弹性散射或非弹性散射后离开试样表面的电子。