判断题 溅射时，入射粒子的大部分能量交给了溅射出来的原子。

判断题 真空度愈高﹐真空室中气体的平均自由程就愈小。

判断题 溅镀系统更换气体钢瓶后溅镀机必须执行排空气体管路动作才可进行量産。