单项选择题
旋片泵是利用（）的原理，通过吸气﹑压缩﹑排气的不断循环实现抽气目的。
A.旋转变容 B.动量传输作用 C.扩散 D.低温吸附
单项选择题 所有溅射镀膜设备使用的电源中（）。
单项选择题 我们把表面硬度Hv>（）GPa的耐磨沉积层叫硬质膜，Hv>40GPa叫超硬膜。
单项选择题 磁控二极溅射与射频二极溅射相比，具有（）两大特点。
