多项选择题
低压外延的优点是（）
A.减小掺杂效应B.缩小过渡区域用于多层外延C.对外延温度有所下降D.降低成本
多项选择题 外延在半导体生产中的作用是（）
多项选择题 CMP工艺的三大关键因素是（）
多项选择题 影响CMP质量的因素有（）
