多项选择题
PG3000RMX减薄机清洗台检查项目方法为（）。
A.检查喷水吹气位置是否正确 B.查看吸盘表面是否干净 C.工作时观察晶圆清洗后表面有无水汽残留 D.观察吸盘安装是否到位有无松动与找边SENSOR配合位置准确
多项选择题 离子风机点检加电状态方法为（）。
多项选择题 空气干燥机运行检查项目方法为（）。
多项选择题 真空泵运行检查项目方法为（）。
