判断题
把硅片对离子注入的方向倾斜30度可抑制通道效应。
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判断题 使用化学腐蚀法检查针孔时，硅表面的腐蚀坑数目就是二氧化硅的针孔数目。
判断题 金属化是指根据电路设计要求，把硅片上制成各种晶体管.二极管等元器件用金属薄膜固定的方式。
多项选择题 氧化层表面缺陷有（）
