问答题
例举离子注入工艺和扩散工艺相比的优点和缺点。
离子注入的优点：（1）精确控制杂质含量和分布（2）很好的杂质均匀性（3）对杂质穿透深......
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问答题 例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。
问答题 什么是结深？
问答题 什么是掺杂？例举四种常用的掺杂杂质并说明它们是n型还是p型？
