单项选择题
评价金刚石刀具超精密切削加工水平的标志是（）
A.所能切削金属层的厚度B.所切削的工件材料属性C.所能切削金属层的宽度D.所能切削金属层的表面质量
单项选择题 EUV可用于纳米加工，其波长范围为（）
单项选择题 亚纳米是指（）
单项选择题 以下几项中英文简称为MIM的是（）
