问答题
简述真空设备産生漏气的可能原因（列出三条）。
真空设备産生漏气的可能原因（1）密封圈脏/坏/未装好；（2）抽气管道松/裂；（3）阀......
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问答题 Cryo pump（冷冻泵浦）之抽气原理主要分哪三种方式？
问答题 简述溅射镀膜的优点（3点以上）。
问答题 连续式溅镀机的制程有哪些优点？（4项以上）。
