判断题 驻波效应破坏了光刻胶图形侧壁的垂直性，也导致光刻胶CD测量的不稳定。

判断题 硅片边缘匀胶后出现毛边异常，是因为EBR药液量不足。

判断题 在产品加工过程中，除了光刻工序外，其他工序是不允许返工的。