单项选择题
提出用于半导体蚀刻加工的LIGA法的科学家是来自于（）
A.美国B.日本C.德国D.法国
单项选择题 以下几种加工方法中不属于高能束流加工方式的是（）
单项选择题 用于超精密研磨与抛光的MRF技术提出的时间约在（）
单项选择题 以下几项中不属于抛光机理的是（）
