问答题
简述两步扩散的含义与目的？
为了同时满足对表面浓度、杂质总量以及结深等的要求，实际生产中常采用两步扩散工艺：第一步称为预扩散或预淀积，在较低的温度下......
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名词解释 保形覆盖
名词解释 横向扩散
名词解释 恒定表面源扩散
