多项选择题

A.观察Table面是否平整完好
B.检查紧固松动部件和螺丝
C.放置晶圆,打开真空,检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。
D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。