问答题
离子注入后为什么要退火？
1）氧化生成保护膜 2）离子再分布，减小杂质浓度差 3）修复损伤 4）激活注入杂质
问答题 什么是沟道效应？抑制方法？
问答题 什么是扩散工艺？
问答题 什么是杂质分凝效应和分凝系数？
