问答题
说明五类净化间的沾污。
净化间沾污的主要类型：颗粒；金属杂质；有机物沾污；自然氧化层；静电释放（ESD）
问答题 给出半导体制造中沾污及致命缺陷的定义。
问答题 芯片加工环境指什么？半导体产业如何控制芯片制造过程中加工环境的沾污？
问答题 芯片制造的重要基础是什么？
