多项选择题
影响化学气相沉积的工艺参数包括（）。
A.沉积温度的确定B.反应混合物的选择C.系统内总压和气体总流速D.原材料的纯度
判断题 相比于立式开口体系，应用卧式开口体系制备的薄膜均匀性更好。
判断题 相比于常压化学气相沉积，低压化学气相沉积成膜速率更快。
单项选择题 以下哪个化学气相沉积合成方法要求双温区？（）
