问答题
写出分辨率（R）公式及简述提高分辨率的方法。
分辨率是将硅片上两个相邻的关键尺寸图形区分开的能力。分辨率是光刻中一个重要的性能指标。k为工艺因......
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问答题 写出数值孔径（NA）公式。
问答题 简述正胶和负胶区别。
问答题 简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。
