问答题
分别解释IC、VLSI、ULSI、CMP、CVD、LPCVD、RIE、SOI、ERC、DRC、EXT等的含义。
问答题 简述微电子、集成电路、集成度、场区、有源区、阱、外延。
问答题 集成电路按工艺器件类型和结构形式分为哪几类，各有什么特点？
问答题 集成电路常用的材料有哪些？
