多项选择题
减薄工序造成厚度不符的因素有哪些（）。
A.不核对《晶圆管制卡》厚度要求设置值与实际要求数值不一致 B.胶膜厚度不同导致 C.半自动机更换吸盘后工程人员设置零位时有误差 D.半自动机修机后磨头升降轴未锁紧
多项选择题 减薄工序造成裂片的因素有哪些（）。
多项选择题 减薄工序造成混批的因素有哪些（）。
多项选择题 异常产品的处理方式有哪些（）。
