多项选择题
下列属于中真空范围到高真空范围内使用的真空泵是（）。
A.低温泵B.分子泵C.油扩散泵D.离子泵
多项选择题 SUS钢氢析出速度与以下哪方面有关系？（）
多项选择题 RF电源可用在（）材料。
多项选择题 油扩散泵包含哪些部件组成？（）
