多项选择题
洁净室是指将室内空气中()的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。
A.尘埃微粒 B.温度 C.压力 D.流速 E.气流
多项选择题 精密与超精密加工按加工方法可以分为()等大类。
多项选择题 超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指()方面的条件。
多项选择题 激光加工设备主要包括电源、()、冷却系统等部分。