单项选择题 真空泵浦最重要的性能参数是抽气速率与（）。

单项选择题 要求比较高的真空镀膜件的镀膜最好（）无尘室中进行。

单项选择题 总的来说蒸发出来的原子能量与溅射出来的原子能量相比（）。