单项选择题
避免坩埚影响而使用的MCZ法在多少寸硅基板上是主流？（）
A.4寸B.6寸C.8寸D.12寸
单项选择题 硅添加磷后会形成什么型硅？（）
单项选择题 由螺旋状的静涡旋和动涡盘组成，通过偏心运动涡旋来输送气体并排气，是指哪种类型的干泵？（）
单项选择题 热扩散炉通过什么去除不纯气体？（）
