单项选择题
溅射现象中从靶材飞向空间的是（）。
A.一次电子B.反射带电原子C.靶材的中性粒子D.带电粒子
单项选择题 四重极型质量分析仪离子分离部由几根电极组成？（）
单项选择题 太阳能电池CIM设备有哪些缺点？（）
单项选择题 涡轮分子泵的排气速度S=8000L/s，节流装置参与排气时的实际排气速度Sc=300L/s，节流装置的流导C约等于（）L/s。
