判断题 裂片可拼接为完整片的晶圆正常进行甩胶，对甩胶质量无影响。

判断题 发生动力中断异常时，需在短时间内检查机械手上是否有产品，做必要安全处理。

判断题 减薄机无供水时需关闭真空泵。