判断题 电子束钻削细微孔，每秒钟最高可达4000个孔，生产率高

判断题 电子束可以当成车刀一样，让工件回转对外圆表面切槽，此时工件回转是进给运动。

判断题 电子束光刻主要用于制作掩膜。