多项选择题
硅的四种掺杂方式有以下几种？（）
A.离子注入B.扩散掺杂法C.中子嬗变掺杂D.原位掺杂
单项选择题 下列哪个杂质允许在硅中存在的？（）
多项选择题 微电子产业的特点有（）。
多项选择题 发明集成电路的公司有（）。
