填空题 频率高于（）Hz的机械波称为超声波，超声波在液体中的传播速度（）于其在空气中的传播速度；超声波传感器的检测方式有（）式和（）式两种，其测量流量主要是根据超声波（）的变化来实现测量的。

填空题 内光电效应又分为（）效应和（）效应，光敏二极管是基于（）效应制作的光电传感器。基于外光电效应制作的光电传感器有（）和（）。

填空题 光电池是基于光生伏特效应制作的有源光电传感器，其（）与光照度成线性关系，（）与光照度成非线性关系。硅光电池的开路电压一般可达（）。