问答题
简述溅镀过程？（5点以上）。
溅镀原理答案要点：（1）在真空环境中；（2）制程气体（Ar）通入；（3）电极（Cat......
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问答题 蒸发镀膜的蒸发源主要分爲那几类？（至少答两种）。
判断题 绝对温度1K=-273°C。
判断题 镀膜设备需要定期维护。
