多项选择题
RF电源生成等离子的方式有()。
A.介电耦合B.电感耦合C.介电耦合+电感耦合D.整合
多项选择题 DC电源放电工作时不能输出高于自身规定的()。
多项选择题 检漏仪的复合分子泵是由()构成。
多项选择题 利用气体的输送现象/导热特性的真空计有()。