单项选择题
下列哪种工艺所制备的氧化层质量最好？（）
A.水汽氧化B.干氧氧化C.湿氧氧化D.化学气相淀积
单项选择题 直拉法制备硅单晶的工艺步骤顺序是（）。A.引晶（下种）B.放肩C.收尾D.收颈E.等径生长
多项选择题 硅片制备最先进的抛光工艺是（）。
多项选择题 现代硅单晶制备所需电子级多晶硅的纯度是（）。
