单项选择题
利用高温驱动杂质渗透进半导体内，此工序采用的设备是（）
A.扩散炉B.离子注入机C.加热平板D.对流烘箱
单项选择题 电子束蒸发中有一个特殊的部件是（）
单项选择题 通常钽、钴、镍等难溶金属应用于（）
单项选择题 解决金属铝与衬底之间肖特基接触的方法有（）。
