判断题
湿法刻蚀设备简单，成本低，生产效率较高。
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判断题 各向异性腐蚀是指刻蚀因子特别小。
判断题 干法刻蚀适用于线条较宽的工艺。
判断题 湿法刻蚀不易产生衬底损伤。
