单项选择题
相比Wet Etch，下列哪一项不是Dry Etch的优点（）
A.刻蚀精度高 B.刻蚀速度高 C.运营成本低 D.更环保
单项选择题 CVD设备中内部有Robot的设备是（）
单项选择题 CVD中主要进行镀膜的设备是（）
单项选择题 CVD中为了保持非晶硅特性，需要添加的元素是（）
