名词解释
自掺杂效应
在外延生长过程中，衬底杂质及其他来源杂质因为热蒸发，或者化学反应等非人为地参入外延层，改变了边界层中的掺杂成分和浓度，从......
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名词解释 扩散效应
名词解释 异质外延
名词解释 同质外延
