问答题

【参考答案】

1.分滴,当硅片静止或者旋转得非常缓慢时,光刻胶被分滴在硅片上
2.旋转铺开,快速加速硅片的旋转到一高的转速使......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)