名词解释
有限表面源扩散
扩散前在硅片表面先淀积一层杂质,在整个过程中,这层杂质作为扩散源,不再有新源补充,杂质总量不再变化。这种类型的扩散称为有......
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名词解释 横向扩散
名词解释 射程R
名词解释 平均投影射程Rp