单项选择题
在Gate Step中，得到Gate Pattern的顺序是（）
A.Cleaning->Gate Depo->Photo->WET Etch B.Cleaning->Gate Depo->Photo->DRY Etch C.Gate Depo->Cleaning->Photo->WET Etch D.Cleaning->Photo->Gate Depo->WET Etch
单项选择题 PHOTO设备中VCD的作用是（）
单项选择题 PHOTO工程最主要的三个Process是（）
单项选择题 下面哪一个不属于PHOTO Cleaner的构成（）
