判断题
清洗的目的是控制清洁度。
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判断题 开机前COP结束后,≥4h未开机需要重新进行COP再开机。
判断题 COP应在CIP开始之后,开机之前连续进行,COP过程中禁止中断后无需重新开始。
判断题 洁净区与室外的压差不应小于5Pa。