多项选择题
减薄、划片动力供应异常项目包含（）。
A.压缩空气中断 B.去离子水中断 C.去离子水阻值异常 D.动力供电中断
多项选择题 减薄划片工序那些工位使用离子风机（）。
多项选择题 划片造成的缺陷主要有哪些（）。
多项选择题 由减薄过程造成的缺陷主要有哪些（）。
