判断题
更换靶材或维修时,DC及RF电源需保持关闭状态。
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判断题 大气中含量最高的是氧气O2。
判断题 气体分子间每二次碰撞运动的平均距离称爲平均自由程。
判断题 真空系统最忌讳油污,但不怕水气。