多项选择题

A.透射电子显微镜是各种显微镜中性能最高的,具有100万倍以上的放大能力。
B.可以观察物质的表面形貌和颗粒的大小。
C.研究表面的原子排列。
D.进行微区分析,是半导体、金属、陶瓷、纳米材料研究的最有力工具之一。