名词解释
选择性外延
是指利用外延生长的基本原理以及硅在绝缘体上很难核化成膜的特性,在硅表面指定区域生长外延层而其他区域不生长的技术。
名词解释 SOI
名词解释 SOS
名词解释 分子束外延(MBE)