单项选择题 减薄厚度误差＞±（）um，REJ。

单项选择题 前段无尘室，温度为23±3℃，超过35必须停机，湿度要是超65%或低于（）%时必须停机。

单项选择题 划片胶膜在常温下放置有效期为（）。