问答题
说明用硅材料采用CMOS工艺可形成哪些元件、电路形式以及可达到的电路规模？
可形成D、N/P-MOS、R、C、L元件、可以形成CMOS或SCL电路形式、可达到ULSI和GSI的电路规模
问答题 离子注入法有哪些优点？
问答题 掺杂的目的是什么？掺杂在何时进行？惨杂方法有哪几种？
问答题 什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？
