填空题 变极距式电容传感器的电容变化与极板间距之间的关系是成（）关系，为了减小这种关系带来的测量误差，常采用（）结构来解决。

填空题 从原理来分，电容式传感器结构类型有：（）、（）、（）。

填空题 空气介质变间隙式电容传感器中，提高其灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此实际中大都采用（）式电容传感器。