判断题
湿法刻蚀适用于线条较细的工艺。
错误
判断题 去胶时,无金属表面和金属表面会进行区分,进而采用不同的去胶方法。
判断题 金属钨常常采用CVD法来制备。
判断题 解决铝互连中肖特基接触的方法是在电极引出部分进行轻掺杂。